انواع مواد SOI

در حال حاضر پرکاربردترین و امیدوارکننده ترین مواد SOI مواد SIMOX (جداسازی با اکسیژن کاشته شده)، مواد BESOI (باندینگ-اچ بک SOI) با پیوند ویفر سیلیکونی و حکاکی معکوس، و مواد SOI برش هوشمند که پیوند و تزریق را با هم ترکیب می‌کنند، هستند. در بین این سه ماده، SIMOX برای ساخت مدارهای مجتمع فوق العاده بزرگ با لایه نازک کاملاً تخلیه شده، مواد BESOI برای ساخت مدارهای مجتمع نیمه تخلیه شده مناسب هستند، و مواد Smart Cut مواد بسیار امیدوارکننده SOI هستند که احتمالاً تبدیل به جریان اصلی مواد SOI در آینده.
دامنه کاربرد
علاوه بر مزایای منحصر به فرد آن، در مدارهای مجتمع استفاده می شود و همچنین در ساخت سیستم های MEMS میکرو اپتو الکترومکانیکی مانند سوئیچ های آرایه آینه سه بعدی استفاده می شود. آینه با تشکیل یک آینه متحرک در لایه فعال زیرلایه SOI و اتصال آن به زیرلایه الکترود پله ای شکل دیگر تشکیل می شود. از آنجایی که از زیرلایه سیلیکونی تک کریستالی استفاده می شود و در سطوح بالایی و پایینی آینه متحرک به قطر 500 میکرون به صورت متقارن یک لایه بازتابنده در شرایط یکسان تشکیل می شود، دارای تاب خوردگی 10 نانومتر و زبری سطح است. ده ها نانومتر